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[반도체실무과정] 8대공정 : 노광 및 식각 공정

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총 학습일:390일 | 학습시간:21시간 | 난이도:초급 | 강사:엄중섭 | 강의금액:62,370원 | 교재:없음
반도체
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  • Photo 공정부터 etch 까지 전반적으로 잘 이해할수있게 되어 잘 들었습니다.
  • 자세한 에칭 및 포토 과정을 알 수 있어서 도움이 많이 되었습니다!
  • 잘들었습니다 내용이 생각보다 어려웠는데 강의로 쉽게 알려주셨네요
  • 평소에 궁금해 했던 반도체 공정에 대해서 공부할 수 있어서 좋았으며 현업에 종사하면서 도움이 될거 같아 유익한 과정이었습니다.감사합니다.
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진도80%이상
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    강의목표

    - 반도체 8대공정 중 노광 및 식각 공정에 대해 설명할 수 있습니다.

    강의내용

    - photo 공정에 대해 학습합니다.
    - Track 구성에 대해 학습합니다.
    - Photo 불량 사례를 학습합니다.

    학습대상

    - 반도체 제조 공정 관련 직무 종사자

    추가정보

    학습방법 : html5
    학습정원 : 150명

    근로자 직업능력개발훈련 수강포기 시 패널티

    훈련수강 중 수강포기한 경우 지원한도액이 차감됩니다.
    수강포기 횟수 1회 2회 3회 이상
    지원한도액 차감 20만원 50만원 100만원

    학습목차

    [반도체실무과정] 8대공정 : 노광 및 식각 공정
    1. Photo 공정의 개요
    2. Track 구성,표면 처리,PR Spin Coating
    3. Soft bake,Alignment,Exposure
    4. PEB,Development,Hard bake,ADI 검사
    5. Resolution과 DOF,NA,광원과 파장
    6. Resolution 향상 방안 및 EUV,DPT,Q PT
    7. PSM,OPC
    8. Photo 현장 실무
    9. Photo 불량 사례 (1)
    10.Photo 불량 사례 (2)
    11.Etch 과정 개요와 Transister,CMOS Vertical 구조
    12.Etch 공정의 정의와 용어
    13.Etch 공정의 목적과 플라즈마의 개념
    14.플라즈마의 생성과 특징
    15.플라즈마의 종류와 응용, Dry Etch의 원리
    16.Dry 식각 방식의 이해와 요구사항
    17.Dry Etch 장비의 구조
    18.건식 식각 공정
    19.습식 식각 공정
    20.Etch 불량 사례와 Etch 엔지니어 실무

    강사소개

    강사명 엄중섭
    약력
    [경력]
    (현)한국반도체기술교육원
    삼성전자 (27년 2개월)

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